专利详情

专利名称：

一种便于固定的化学机械抛光设备

专利类型：

发明专利

申请号：

2019110451096

申请日：

2019-10-30

所属类别：

加工机械

专利摘要：

本发明公开了一种便于固定的化学机械抛光设备，一种便于固定的化学机械抛光设备，包括设备主体、第一转轴、第一齿轮、螺纹套筒、电动伸缩板、第二转轴、第三齿轮、螺旋连杆、清洗喷头、抛光台、待抛光半导体、调节阀和出液管，所述设备主体的侧端设置有驱动电机。该便于固定的化学机械抛光设备中设置有限位孔和电动伸缩板，根据不同的待抛光半导体形状，选取与半导体形状相同的限位孔，将待抛光半导体防置在限位孔内，能够对待抛光半导体起到水平方向的固定作用，电动伸缩板能够完成竖直方向上的伸缩移动，能够对待抛光半导体施加向下的挤压力，使待抛光半导体贴合在抛光台上，进行抛光，能够对待抛光半导体起到竖直方向的固定作用。