专利详情

专利名称：

一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置

专利类型：

发明专利

申请号：

2019110450981

申请日：

2019-10-30

所属类别：

加工机械

专利摘要：

本发明公开了一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，包括设备主体、竖向螺旋杆、连接套、第一转轴、卡槽、第二镀膜装置、第二转轴、第二齿轮、第一丝杆、第一轴承、转动转盘、待加工半导体和扇叶，所述设备主体上端设置有第一电机。该防止偏移的半导体生产用镀膜装置中设置的固定装置，人为转动固定装置上的旋钮，使得第二丝杆发生转动，第二丝杆与第一夹块之间为螺纹连接，使得第一夹块在水平平面上移动，带动滑块在滑轨上移动，方便调节第一夹块的位置，通过调整第一夹块的位置，便于调整第一夹块与第二夹块的距离，以便夹住待加工半导体，防止待加工半导体发生偏移。