专利详情

专利名称：

一种动态调节脉冲能量与时间间隔的激光加工方法及装置

专利类型：

发明专利

申请号：

2017105463893

申请日：

2017-07-06

所属类别：

其他

专利摘要：

本发明提供了一种动态调节脉冲能量与时间间隔的激光加工装置，包括激光器、扩束准直镜、电动衰减片转轮、电动相位延迟片转轮、一个或多个反射镜和聚焦物镜；电动衰减片转轮上安装有多个激光衰减片，电动相位延迟片转轮上安装有多个相位延迟片；加工激光束入射至扩束准直镜后，垂直入射至电动衰减片转轮上的一个衰减片，经衰减片的衰减后，垂直入射至电动相位延迟片转轮上的一个相位延迟片，经相位延迟片的延迟后，经反射镜反射后由聚焦物镜输出聚焦在工件表面。本发明可以实现对激光材料加工过程中能量输出的精密动态控制，具有控制精度高、响应快、加工效率高的优点。本发明还提供了一种动态调节脉冲能量与时间间隔的激光加工方法。