专利名称：

发明

一种高能离子注入机加速器设计方式

视撤

申请公布号：

CN101728203A

申请公布日：

2010-06-09

申请号：

2008102246462

申请日：

2008-10-22

申请人：

北京中科信电子装备有限公司,

地址：

101111北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号

发明人：

唐景庭,孙勇,彭立波,

分类号：

H01J 37/30

专利代理机构：

暂无信息

代理人：

暂无信息

最终专利权人：

北京中科信电子装备有限公司

摘要：

本发明公开了一种高能离子注入机加速器，该加速器包括以下部分：十个加速电极、一抑制电极、十一个卡圈、十个绝缘环、一低压法兰、一高压法兰、八根拉杆、十一个均压环、一接线杆。十个加速电极与低压法兰、绝缘环通过拉杆连接在一起；低压法兰端设有一个抑制电极；相邻各个加速电极之间用绝缘环隔离，采用密封圈真空密封；均压环为圆环形金属管，用卡圈固定于各加速电极的外缘。本发明最大特点是加速能力强，并采用等梯度工作方式

主视图

日期	最新法律状态	描述
2012-11-14	专利申请的视为撤回	IPC(主分类)： H01J37/30 申请公布日： 20100609
2011-06-08	实质审查的生效	IPC(主分类)： H01J37/30
2010-06-09	公开
2009-02-04	地址不明的通知	收件人： 赵娜 文件名称： 发明专利申请初步审查合格通知书