专利名称：

发明

声表面波气体传感器及其制作方法

视撤

申请公布号：

CN101726538A

申请公布日：

2010-06-09

申请号：

2008102249028

申请日：

2008-10-24

申请人：

中国科学院微电子研究所,

地址：

100029北京市朝阳区北土城西路3号

发明人：

李昊峰,贾锐,李维龙,陈晨,朱晨昕,

分类号：

G01N 29/036

专利代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司11021

代理人：

周国城

最终专利权人：

中国科学院微电子研究所

摘要：

本发明公开了一种声表面波气体传感器，包括：一压电晶体衬底；制备于该压电晶体衬底表面的三组相互平行且间隔相等的第一叉指电极、第二叉指电极和第三叉指电极；以及在第一叉指电极与第二叉指电极，以及第二叉指电极与第三叉指电极之间的衬底表面分别蒸镀或涂敷的能够吸附被测气体的敏感膜。本发明同时公开了一种制作声表面波气体传感器的方法。利用本发明制备的声表面传感器，与不同的敏感膜搭配可以测量多种气体，具有灵敏度高，

主视图

日期	最新法律状态	描述
2012-03-14	专利申请的视为撤回	IPC(主分类)： G01N29/036 公开日： 20100609
2010-08-11	实质审查的生效	IPC(主分类)： G01N29/036
2010-06-09	公开