专利名称：

实用新型

用于干涉显微镜升级的白光干涉三维轮廓测量仪

终止

申请公布号：

CN201476761U

申请公布日：

2010-05-19

申请号：

2009201755906

申请日：

2009-08-24

申请人：

苏州海兹思纳米科技有限公司,

地址：

215000 江苏省苏州市苏州工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼105

发明人：

罗先照,胡志强,

分类号：

G01B 9/023

专利代理机构：

北京纽乐康知识产权代理事务所11210

代理人：

秦月贞

最终专利权人：

苏州海兹思纳米科技有限公司

摘要：

本实用新型涉及一种用于干涉显微镜升级的白光干涉三维轮廓测量仪，包括防震平台，所述防震平台的上表面设有仪器主机、电子控制器和计算机，所述仪器主机包括6JA干涉显微镜、CCD摄像、全息衍射光栅计量装置和支架座，支架座的上表面设有共基面运动X-Y工作台，共基面运动X-Y工作台上表面的左侧设有全息衍射光栅计量装置，共基面运动X-Y工作台上表面的右侧设有垂直位移驱动装置，垂直位移驱动装置的上表面设有垂直位移

日期	最新法律状态	描述
2014-10-22	专利权的终止	IPC(主分类)： G01B9/023 授权公告日： 20100519 终止日期： 20130824
2010-05-19	授权