专利名称：

发明

微电动机械电视扫描装置及其制造方法

终止

申请公布号：

CN1056452C

申请公布日：

2000-09-13

申请号：

941928292

申请日：

1994-07-19

申请人：

米德凯姆公司,

地址：

056108河北省邯郸县河沙镇暖气片厂

发明人：

迈克尔·Ｄ·约翰逊,

专利代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

蹇炜

最终专利权人：

米德凯姆公司

摘要：

一种用于电视图象扫描或相关功能的电致动的微电动机械电视扫描装置。该扫描装置能以具有亚毫米范围内的特征尺寸的形式制造。该扫描装置还包括一块具有两个自由度的电致动板（３０）。一个准直辐射发射器、准直辐射检测器（５２）或其它适当的器件可置于板上或从板上反射出，以方便该装置作为一飞点扫描器、电视图象析象器或电视显示器工作。该扫描装置能类似于单片集成电路制造。

日期	最新法律状态	描述
2003-09-10	专利权的终止
2000-09-13	授权
1996-10-30	实质审查的生效
1996-07-24	公开