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B
作业;运输
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B81
微观结构技术〔7〕
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B81B
微观结构的装置或系统,例如微观机械装置(压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00)〔7〕
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B81C
专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备(制造微胶囊或微球入B01J13/02;专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22)〔7〕
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